معرفی کاربید سیلیکون سبز:
کاربید سیلیکون سبز ( SiC سبز ، فرمول شیمیایی SiC ) یک ساینده کریستالی مصنوعی با خلوص بالا است که به دلیل سختی بسیار بالا، لبههای برش تیز و پایداری شیمیایی/حرارتی عالی شناخته میشود. این ماده درجه یک در بین مواد SiC است که اغلب “الماس سبز” سایندههای صنعتی نامیده میشود.
| ملک | کاربید سیلیکون سبز |
|---|---|
| فرمول شیمیایی | سی سی |
| خلوص | ۹۸.۵–۹۹.۵٪ SiC (درجه بالا ≥۹۹.۹٪) |
| سختی موهس | ۹.۲–۹.۵ (نزدیک به لوزی) |
| ریزسختی | ۳۲۰۰–۳۶۰۰ کیلوگرم بر میلیمتر مربع |
| تراکم | ۳.۲۲ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| رسانایی حرارتی | ۸۰–۱۴۰ وات بر متر مکعب بر کلوین (اتلاف حرارت عالی) |
| انبساط حرارتی | کم |
| نقطه ذوب | حدود ۲۷۰۰ درجه سانتیگراد |
| پایداری شیمیایی | در برابر آب، اسیدها، قلیاها و اکثر حلالها بیاثر است |
| شکل ذرات | تیز، بلوکی، چندوجهی؛ خود تیزشوندگی خوب |
مزایای کاربید سیلیکون سبز برای لپینگ ویفر
- سختی و عملکرد برش عالیبا سختی موس ۹.۲ تا ۹.۵، کاربید سیلیکون سبز بسیار سختتر از سیلیکون تکبلوری است. این ماده دارای لبههای تیز ذرات و قابلیت خود تیزشوندگی عالی است و نرخ حذف مواد بالایی را برای از بین بردن موثر علائم سطحی و لایههای آسیبدیده روی ویفرها ارائه میدهد.
- اندازه ذرات یکنواخت و کیفیت سطح عالیپودر ریز دانهبندیشدهی دقیق، توزیع اندازه ذرات باریک و تراکم کمی دارد. این پودر به جای بریدگیهای عمیق، لبپریدگی یا حفره، خراشهای ریز و کمعمق ایجاد میکند و به طور مؤثر آسیبهای زیرسطحی را کنترل کرده و نتایج صیقلکاری یکنواخت را تضمین میکند.
- پایداری شیمیایی و حرارتی عالیاز نظر شیمیایی در برابر آب، دوغابهای رایج لپینگ و افزودنیهای اسیدی/قلیایی بیاثر است و باعث خوردگی ویفرهای سیلیکونی نمیشود. سختی و شکل ذرات را تحت حرارت اصطکاکی پایدار نگه میدارد و رسانایی حرارتی خوب آن، گرما را به سرعت پراکنده میکند تا از تغییر شکل حرارتی ویفر جلوگیری شود.
- خلوص بالا برای کاربردهای نیمههادیدر مقایسه با کاربید سیلیکون سیاه، فلزات سنگین و ناخالصی کمتری دارد. هیچ آلودگی الکتریکی ایجاد نمیکند و کاملاً الزامات خلوص بالا برای تولید نیمههادی و ویفر فتوولتائیک را برآورده میکند.
- مقاومت خوب در برابر سایش و مقرون به صرفه بودنکاهش سایش، عمر مفید را افزایش میدهد. این پودر در مقایسه با پودر الماس، بسیار مقرون به صرفهتر است و در عین حال عملکرد صیقلدهی قابل اعتمادی را حفظ میکند و برای تولید انبوه ایدهآل است. این پودر به خوبی در دوغاب معلق میشود و دفعات تعویض سیال را کاهش میدهد.
- استحکام متوسطشکنندگی و چقرمگی متعادل، از ورود ذرات ریز اضافی به سطوح ویفر جلوگیری میکند و فرآیندهای تمیزکاری بعدی را ساده میکند. این محصول با پدها و تجهیزات مختلف لپینگ برای لپینگ یک طرفه/دو طرفه، پخزنی لبه و سایر فرآیندها سازگار است.